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パワー半導体の基礎 第８章 パワー半導体モジュールが出来るまで
第８章パワー半導体モジュールが出来るまで
（１）パワー半導体モジュールの製造フロー
（２）珪石から ｎ型半導体ウエハが出来るまで
（３）ｎ型半導体ウエハからIGBTチップが出来るまで
（４）パワー半導体 モジュールが出来るまで
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