本編を視聴するには、セットの視聴条件をご確認ください
1章 半導体産業・技術とエッチング装置概論2 東京エレクトロン株式会社
1章- 2. 半導体製造プロセスとエッチング技術紹介・解説
1. 継続する微細化シナリオを牽引する半導体プロセス
2. エッチング装置とは?
3. 多岐にわたる製造装置・プロセスへの要求(微細化・環境)
4. まとめ
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1章- 2. 半導体製造プロセスとエッチング技術紹介・解説
1. 継続する微細化シナリオを牽引する半導体プロセス
2. エッチング装置とは?
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