半導体製造装置基礎(後工程) 講座紹介
半導体デバイス製造に携わる後工程エンジニア(アセンブリ・パッケージ・テスト)を対象に、主要な後工程の製造装置について基礎から学びます。各半導体後工程の製造装置メーカーの専門家が、各工程で求められる技術要素(メカ、エレキ、ソフト、材料・プロセス)の概要を紹介するとともに、装置および実装・パッケージング・テスト技術の詳細を解説します。
本講座は(一社)日本半導体製造装置協会(SEAJ)会員企業によるコラボレーション講座です。
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【総動画時間】
約3時間40分
【受講対象・予備知識】
半導体関連会社の入社1、2年目の若手社員等
【到達目標】
半導体産業の中で装置メーカーの置かれている立場、必要とされる技術範囲の把握
【学習環境】
テキスト
【目次】
1章:パッケージング技術概要 ボンダ概論(講師:ヤマハロボティクスホールディングス株式会社)
1. 後工程/パッケージング技術トレンド概要
2. ボンディング技術トレンド
3. ボンディング装置技術紹介
2章:バックグラインダ ダイシングマシン概論(講師:株式会社東京精密)
2章-1. バックグラインダ概論
1. 半導体工程に於けるバックグラインドの役割
2. バックグラインダとは?
3. 薄化のための加工技術
4. 最新技術と今後の動向
2章-2. ダイシングマシン概論
1. 半導体工程 後工程に於けるダイシングの役割
2. ダイシング技術とは?
3. ダイシング技術について(ブレード・レーザ加工技術)
4. 今後の展望
3章:モールディング装置概論 ~ 樹脂封止技術の基礎知識・技術トレンド ~(講師:TOWA株式会社)
1. はじめに
2. モールディング装置技術紹介・解説
3. 樹脂封止技術のトレンド
4章:テスタ概論(講師:株式会社アドバンテスト)
1. はじめに
2. テスト
3. 品質の作り込み:テストはより前の工程へ
4. 信頼性の保持:テストはより後の工程へも
5. まとめ
コメント
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