半導体製造装置(基礎) 講座紹介
半導体デバイス製造に携わる装置・プロセスエンジニア向けに、装置開発・量産視点で市場環境・産業構造のレクチャー、求められる技術要素（メカ、エレキ、ソフト、プロセス）の概略説明。加えて装置・プロセス技術詳細を、各半導体製造装置メーカーより解説。 本講座は（一社）日本半導体製造装置協会（SEAJ）会員企業によるコラボレーション講座です。
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【総動画時間】
約5時間15分
【受講対象・予備知識】
半導体関連会社の入社１、2年目の若手社員等
【到達目標】
半導体産業の中で装置メーカーの置かれている立場、必要とされる技術範囲の把握
【目次】
１章：半導体産業・技術とエッチング装置概論（講師：東京エレクトロン株式会社）
２章：露光装置概論（講師：キヤノン株式会社）
３章：成膜装置概論（講師：日本エー・エス・エム株式会社）
４章：洗浄装置概論（講師：株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ）
５章：電子ビーム応用計測技術概論（講師：株式会社日立ハイテク）
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